国内一些设备制造水平参差不齐，还有许多技术提升工作要做。
我国多晶硅的主流生产工艺是改良西门子工艺，少数几个厂家用硅烷法，但产量很少。改良西门子法的核心技术的有四个环节：原料的制备和提纯、还原、氢化、尾气干法回收及副产物的回收利用。
原料制备已能够满足多晶硅规模化生产，原料提纯一般采用提纯塔，如高效填料塔、高效筛板塔等，与国外的技术不相上下，但因产品质量的稳定性与原料提纯有直接关系的，能源消耗也有关系，所以还有一些需要改进的地方。
还原技术与装备，目前国内有自主研发的12对棒、18对棒、24对棒还原炉和正在研发的36对棒和48对棒还原炉，技术已与世界同步，甚至达到更先进的水平。还原炉的供电和供料系统都有中国特色，还原电耗国内最好结果达到45kwh/kg，单炉的产量达到7000kg以上;进口还原炉与消化吸收再创新的技术与装置，也有同样效果。
（责任编辑：沈鑫雨）